球面镜片
材 料 |
加工参数 | 加工精 | ||
| 一般精度 | 中级精度 | 定制精度 | ||
玻璃， 石英玻璃， 微晶等 | 1.厚度公差 | ±0.2mm | ±0.05mm | -0.02mm |
| 2.外径公差 | ±0.2mm | ±0.05mm | ±0.02mm | |
| 3.偏心度 | 3′ | 1′ | 10″ | |
| 4.面型精度（ PV ） | 1λ | λ/4 | λ/20 | |
| 5.光洁度 | 60/40 | 40/20 | 10/5 | |
| 6.通光孔径 | ＞95% | ＞95% | ＞95% | |
| 7.表面粗糙度 | / | RMS＜1nm | RMS＜0.3nm | |
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